La microsonde électronique permet d’acquérir des spectres de composition chimique à partir des émissions de rayons X, aussi bien EDS qu’en WDS selon la résolution spectrale souhaitée.
Le spectre EDS (Energy Dispersive Spectrometry – Spectrométrie en dispersion des énergies) permet d’obtenir une analyse chimique semi-quantitative des échantillons étudiés. Cette technique est très efficace pour déterminer la nature d’un minéral et sa composition en éléments majeurs et mineurs.
Le spectre WDS (Wavelength Dispersive Spectrometry – Spectrométrie en dispersion des longueurs d’onde) permet d’obtenir une analyse chimique quantitative. Cette technique moins rapide que l’EDS offre une meilleure résolution spectrale et permet la détection des éléments traces jusqu’à 50-100 ppm.